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PE-25是專門針對于大學/科研機構研發的小批量樣品處理裝置,具有移動方便、多種配置功能、高性能及穩定性、操作方便的特點。
| 外部尺寸 | 356mm*368mm*457mm |
| 真空腔材質 | 6061T6鋁合金真空腔 |
| 真空腔尺寸 | 127mm*203mm |
| 電極尺寸 | 89*178mm,間隙63mm |
| 等離子發生器 |
功率max.400w(可調) 頻率:50KHz(可選配13.56MHz) |
| 供氣 | 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
| 壓力測量 | 熱電偶真空計0-1Torr |
| 控制器 | PLC微電腦控制系統。 |
| 安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
| 電源 | 220VAC,14A |

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