使用等離子清洗機(jī)有什么要注意的
時(shí)間:2022-05-11 16:05
針對(duì)目前支持和購買過昭沅等離子清洗機(jī)的客戶，在日常使用過程中所遇到的問題，我們用文字整理羅列出來了以下幾點(diǎn)，由小編來為大家解答：
1.發(fā)現(xiàn)試驗(yàn)效果不佳，怎么辦？
答：請查看泵油顏色是否暗淡，污濁，并及時(shí)更換泵油。
2：等離子清洗機(jī)不起輝光怎么辦？
答：1. 射頻燈未能提供射頻；
2. 密封性可能存在漏氣問題。
3：如何排查射頻燈問題？
答：使用設(shè)備標(biāo)配的測試燈管，放入主機(jī)腔體內(nèi)，打開“RF”開關(guān)至“Hi”檔，通過觀察燈管狀態(tài)判斷射頻燈問題（此過程不需抽真空）。
4：密封性問題如何解決？
答：1. 確保使用的真空泵能夠達(dá)到或超過最小抽速1.4立方米每小時(shí)和極限負(fù)壓不大于200mTorr；
2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進(jìn)氣管路連接件是否正確并擰緊，等離子清洗機(jī)艙門是否正確關(guān)閉，門密封圈的地方是否清潔無缺陷。
5：是否有建議的清洗工藝參數(shù)？
答：射頻功率等級(jí)應(yīng)設(shè)置為中檔或高檔，600-800毫托壓力和1-3分鐘處理時(shí)間是比較好的工藝參數(shù)的初始值，最佳工藝參數(shù)值將取決于樣品材料和預(yù)期的應(yīng)用，這需要一些實(shí)驗(yàn)來確定這些最佳值。
6：如何測量真空負(fù)壓值？
答：可以找我們購買相對(duì)應(yīng)的測量設(shè)備，比如：真空監(jiān)視單元或氣體流量混合儀。
7：為什么泵油會(huì)回流？
答：如果配套泵浦是油泵的話，當(dāng)工藝處理完成后，設(shè)備艙體內(nèi)部不立即減壓的話，油可能從真空油泵返流造成污染系統(tǒng)，我們建議使用有防回吸功能的真空泵。
8：如何清洗等離子清洗機(jī)真空腔內(nèi)壁？
答：需定期清洗真空艙內(nèi)壁、艙門以及O形圈，清洗方法請參見標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法，如可用酒精、丙酮或異丙醇浸泡或輕輕擦拭等離子體腔室的表面。
