等離子清洗機(jī)清洗原理和結(jié)構(gòu)是什么？有何特點(diǎn)？
時(shí)間:2021-07-03 14:34
等離子體就像固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也稱為第四態(tài)。
把足夠的能量加到氣體上，使其離化便變成等離子狀態(tài)。
等離子體中的“活性”成分包括：離子、電子、活基、激發(fā)態(tài)(亞穩(wěn)態(tài))和光子等。
等離子清洗機(jī)是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到凈化、改性、光刻膠灰化等目的。
清洗原理
利用射頻電源在真空腔內(nèi)，在一定壓力下產(chǎn)生高能量無序等離子體，利用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而達(dá)到清洗目的。
等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)
主要由控制單元、真空腔和真空泵三大部分組成，結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。以下對三個部分進(jìn)行說明：
一是控制部件。
國產(chǎn)的等離子清洗機(jī)，包括國外進(jìn)口的，控制單元主要有四種方式：半自動控制，全自動控制，PC電腦控制，液晶觸摸屏控制。
控制臺被劃分為兩個大的部分：
電源部分：主電源頻率為40KHz,13.56MHz,2.45GHz，其中13.56MHz是需用電源匹配器；
系統(tǒng)控制單元：分為按鍵控制(半自動，全自動)，計(jì)算機(jī)控制，PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
2.真空腔體：
真空腔體主要分為兩類材料：
一、不銹鋼真空腔。
二、石英腔。
3.真空泵：
有兩種真空泵：
一是干泵。
二是油泵。
等離子清洗機(jī)面板結(jié)構(gòu)
清洗特點(diǎn)
等離子清洗機(jī)采用數(shù)控技術(shù)，自動化程度高，控制設(shè)備精度高，時(shí)間控制精度高；等離子清洗時(shí)，對表面沒有損傷層，表面質(zhì)量有保障；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證了清洗表面不受二次污染。
