等離子清洗機的高頻放電會產(chǎn)生哪些作用
時間:2021-07-03 14:34
等離子清洗機的電源頻率可分為低頻40KHz，高頻13.56MHz，微波2.45GHz，頻率越高，對處理材料的效果就越好，之前的大量實驗也表明，高頻放電在提高電離能力，維持放電等方面比低頻放電更有效。關于其成因，至今尚無明確統(tǒng)一的解釋。為了讓大家更好地了解等離子清洗機高頻放電效率的相關知識， 上海昭沅儀器小編收集整理了一些資料。
能產(chǎn)生自持放電的最低容許氣壓隨著頻率的增加而降低，例如當頻率為13.56MHz時，氣壓低于1.33×10-1Pa時，放電仍可維持；在放電相同的情況下，放電阻抗會隨著頻率的增加而降低，因此，在給定放電電壓下，流過的電流明顯增加。上述異常離子化現(xiàn)象與高頻電場中電子的運動行為有密切關系。
1、等離子清洗機的電場強度和頻率是決定電子運動特性的重要參數(shù)。
2、在等離子清洗機中，電子彈性碰撞的時間和電場位的配合能被加速。
在電離強化機理方面，先前已有學者指出，若電子與彈性碰撞的時間能與電場位適當配合，則可使其持續(xù)加速。在一段時間內(nèi)，當電子與Ar原子發(fā)生彈性碰撞，并改變其運動方向時，電場正好換向，這時電子的速度和能量都會持續(xù)增加。若按此原理，即使是一個相當弱的電場，電子也可得到等量的電離能。這一機理被普遍認為是微波放電時產(chǎn)生大量電離的主要原因，電場頻率在數(shù)千MHz范圍內(nèi)最有利，但也有人用來解釋13.56MHz這樣的頻率范圍內(nèi)的電離過程。
還有學者作了同樣的計算，認為二次電子從器壁和陰極發(fā)射后，被離子鞘加速進入光放電區(qū)域，成為電子的附加源。這時電子與器壁的碰撞，與微波放電時彈性碰撞作用相同，本質(zhì)上屬于二次電子的倍增現(xiàn)象，只取決于器壁釋放出的二次電子。當二次電子放出的時候，碰巧在換向電場到達相位一致的時候，可以有效地增強離子化。通過大量高頻濺射設備的計算，為了使高頻電場峰達到11000V的峰值，需要使頻率和極隙d的乘積的d達到幾百MHz·cm。
3、上海昭沅儀器小編提醒大家，等離子清洗機電極的鞘層接觸面上“沖浪”的電子也會加強電離。
